表压的传感器硅杯因为各向异性腐蚀后加正压和负压受力方向不一致，会导致非线性不对称，引起非线性增大。同时，正压时候的芯体处于悬浮状态，不会受到外界应力的影响，输出较为稳定，而当负压状态下时候，芯体悬浮状态被打破，应力加在传感器芯体的膜片之上，所以就显得不稳定了，解决办法是在传感器壳体内部进行细致设计加工，以便在负压状态下避免应力的介入。